FMA-A2107 FMA-A2306流量計 美國omega流量計

氣體質量流量計和控制器可選配一體式顯示屏，用于測量潔凈氣體
FMA-A2000系列
氣體質量流量計和控制器可選配一體式顯示屏，用于測量潔凈氣體
FMA-A2000系列:氣體質量流量計和控制器可選配一體式顯示屏，用于測量潔凈氣體
精度為±1%
線性模擬輸出
成本低
采用熱感技術
可測量高達100 SLM的流量
內含電源
FMA-A2000系列電子質量流量計／控制器性能出眾、 功能多樣、設計*、外形緊湊。
FMA-A2000利用毛細管式熱感技術直接測量氣體的質量流量。
無需進行溫度、壓力或平方根校正。
FMA-A2300／2400系列配備LCD顯示屏，并且所有型號都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。
FMA-A2000測量0 ~ 100 SLM之間24個量程的氣體質 量流量。要查看完整列表，請參閱下一頁的量程表。
FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對照氣體相容性檢查接液材料。
OMEGA的質量流量控制器利用內部電磁比例閥控制質量流量。
可以通過內部電位器設定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號。
規格:
精度: 滿量程的±1%（包括線性度）
重復性: 滿量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
響應時間: 5秒
氣體環境溫度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
溫度系數: 每1°C為滿量程的0.05%或更佳
壓力系數: 每psi為滿量程的0.01%或更佳
zui低壓力要求:
流量計: 1英寸水柱
zui大流速為1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
質量流量控制器的壓差: <5 LPM，5 ~ 50 psi（標準）
>5 LPM，20 ~ 40 psi（標準）
氣體zui大壓力:
聚甲醛: 250 psig
316不銹鋼: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦氣或更佳
接液部件:
標配: 聚甲醛、氟橡膠O形圈
選配: 316不銹鋼、氟橡膠O形圈
連接口: ¼ FNPT（標配）；
¼"壓合接頭（適用于所有不銹鋼型號流量計）
輸入／輸出連接口: 9針sub-D連接器
控制信號: 0 ~ 5 Vdc
控制閥: 常閉電磁閥
輸出信號: 線性0 ~ 5 Vdc（zui小負載1000 ?），4 ~ 20 mA（環路電阻500 ?）
安裝螺紋:
316不銹鋼殼體: 6⁄32"螺紋
聚甲醛材料: #4/6自攻螺絲
輸入電源:
流量計: 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac（帶交流適配器）
控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac（帶交流適配器）
外形尺寸: 參見圖紙
重量: 1.25 kg (2.75 lb)（含電源）

產品型號/產品描述
聚甲醛質量流量計，不帶顯示屏
FMA-A2100 0到10 SCCM
FMA-A2101 0到20SCCM
FMA-A2102 0到50SCCM
FMA-A2103 0到100SCCM
FMA-A2104 0到200SCCM
FMA-A2105 0到500SCCM
FMA-A2107 0到2SLM
FMA-A2108 0到5SLM
FMA-A2109 0到10SLM
FMA-A2117 0到50SLM
FMA-A2118 0到55的SLM
FMA-A2119 0到60SLM
FMA-A2120 0到65SLM
FMA-A2121 0到70SLM
FMA-A2122 0到75SLM
FMA-A2123 0到100SLM
聚甲醛質量流量控制器，不帶顯示屏
FMA-A2200-(**) 0到10 SCCM
FMA-A2201-(**) 0到20SCCM
FMA-A2202-(**) 0到50SCCM
FMA-A2203-(**) 0到100SCCM
FMA-A2204-(**) 0到200SCCM
FMA-A2205-(**) 0到500的SCCM
FMA-A2206-(**) 0到1SLM
FMA-A2207-(**) 0到2SLM
FMA-A2208-(**) 0到5SLM
FMA-A2209-(**) 0到10SLM
FMA-A2210-(**) 0到15SLM
FMA-A2211-(**) 0到20SLM
FMA-A2212-(**) 0到25SLM
FMA-A2213-(**) 0到30SLM
FMA-A2214-(**) 0到35SLM
FMA-A2215-(**) 0到40SLM
FMA-A2216-(**) 0到45SLM
FMA-A2217-(**) 0到50SLM
不銹鋼質量流量控制器，不帶顯示器
FMA-A2200-SS-(**) 0到10SCCM
FMA-A2201-SS-(**) 0到20SCCM
FMA-A2202-SS-(**) 0到50SCCM
FMA-A2203-SS-(**) 0到100SCCM
FMA-A2204-SS-(**) 0到200SCCM
FMA-A2205-SS-(**) 0到500SCCM
FMA-A2206-SS-(**) 0到1SLM
FMA-A2207-SS-(**) 0到2SLM
FMA-A2208-SS-(**) 0到5SLM
FMA-A2209-SS-(**) 0到10SLM
FMA-A2210-SS-(**) 0到15SLM
FMA-A2211-SS-(**) 0到20SLM
FMA-A2212-SS-(**) 0到25的SLM
FMA-A2213-SS-(**) 0到30SLM
FMA-A2214-SS-(**) 0到35SLM
FMA-A2215-SS-(**) 0到40SLM
FMA-A2216-SS-(**) 0到45的SLM
FMA-A2217-SS-(**) 0到50的SLM
聚甲醛質量流量計，帶顯示屏
FMA-A2300 0到10SCCM
FMA-A2301 0到20SCCM
FMA-A2302 0到50SCCM
FMA-A2303 0到100SCCM
FMA-A2304 0到200SCCM
FMA-A2305 0到500SCCM
FMA-A2306 0到1SLM
FMA-A2307 0到2的SLM
FMA-A2308 0到5的SLM
FMA-A2309 0到10SLM
FMA-A2317 0到50SLM
FMA-A2318 0到55SLM
FMA-A2319 0到60SLM
FMA-A2320 0到65SLM
FMA-A2321 0到70SLM
FMA-A2322 0到75SLM
FMA-A2323 0到100SLM
聚甲醛的質量流量控制器，帶顯示屏
FMA-A2400-(**) 0到10SCCM
FMA-A2401-(**) 0到20SCCM
FMA-A2402-(**) 0到50SCCM
FMA-A2403-(**) 0到100SCCM
FMA-A2404-(**) 0到200SCCM
FMA-A2405-(**) 0到500SCCM
FMA-A2406-(**) 0到1SLM
FMA-A2407-(**) 0到2SLM
FMA-A2408-(**) 0到5SLM
FMA-A2409-(**) 0到10SLM
FMA-A2410-(**) 0到15SLM
FMA-A2411-(**) 0到20SLM
FMA-A2412-(**) 0到25SLM
FMA-A2413-(**) 0到30SLM
FMA-A2414-(**) 0到35的SLM
FMA-A2415-(**) 0到40SLM
FMA-A2416-(**) 0到45SLM
FMA-A2417-(**) 0到50SLM
不銹鋼質量流量控制器，帶顯示屏
FMA-A2400-SS-(**) 0到10SCCM
FMA-A2401-SS-(**) 0到20SCCM
FMA-A2402-SS-(**) 0到50SCCM
FMA-A2403-SS-(**) 0到100SCCM
FMA-A2404-SS-(**) 0到200SCCM
FMA-A2405-SS-(**) 0到500SCCM
FMA-A2406-SS-(**) 0到1SLM
FMA-A2407-SS-(**) 0到2SLM
FMA-A2408-SS-(**) 0到5SLM
FMA-A2409-SS-(**) 0到10SLM
FMA-A2410-SS-(**) 0到15SLM
FMA-A2411-SS-(**) 0到20SLM
FMA-A2412-SS-(**) 0到25SLM
FMA-A2413-SS-(**) 0到30SLM
FMA-A2414-SS-(**) 0到35SLM
FMA-A2415-SS(**) 0到40SLM
FMA-A2416-SS-(**) 0到45SLM
FMA-A2417-SS-(**) 0到50SLM
配件
FMA-200PWA 備用插座式插接電源（90 ~ 260 Vac）
 

注釋: 配備操作手冊、9針sub-D連接器、電源及NIST校準（無數據點）。
欲購可選316不銹鋼殼體儀表，請將后綴"-SS"添加到型號中（需付額外費用）（¼"壓合接頭為標配）。對于FMA-A22與FMA-A24控制器，不銹鋼殼體是標配。
注:所有的控制器流量范圍均針對20 psig時的氮氣或空氣；在用于其它氣體時，需要使用相關系數確定流量。
** 氣體、入口／出口壓力和溫度。
要獲得5測量點NIST校準證書，請將后綴"-NIST5"添加到型號中（無額外費用）。
要獲得10測量點NIST校準證書，請將后綴"-NIST10"添加到型號（需付額外費用）。

產品型號說明
(1) (2) (3) (4)
FMA-
選項描述
(1) 型號代碼
選擇
A21 代表 不帶顯示器的質量流量計
A22 代表 有控制閥的質量流量控制器
A23 代表 帶顯示屏的質量流量計
A24 代表 有顯示和控制閥的質量流量控制器
(2) 量程代碼
選擇
00 代表 0-10 SCCM
01 代表 0-20 SCCM
02 代表 0-50 SCCM
03 代表 0-100 SCCM
04 代表 0-200 SCCM
05 代表 0-500 SCCM
06 代表 0-1 SLM
07 代表 0-2 SLM
08 代表 0-5 SLM
09 代表 0-10 SLM
10 代表 0-15 SLM
11 代表 0-20 SLM
12 代表 0-25 SLM
13 代表 0-30 SLM
14 代表 0-35 SLM
15 代表 0-40 SLM
16 代表 0-45 SLM
17 代表 0-50 SLM
18 代表 0-55 SLM
19 代表 0-60 SLM
20 代表 0-65 SLM
21 代表 0-70 SLM
22 代表 0-75 SLM
23 代表 0-100 SLM
(3) 可選316不銹鋼閥體
選擇
Nothing(leave field blank) 代表 標準體材料
-SS 代表 可選316不銹鋼閥體
(4) 型號代碼
選擇
Nothing(leave field blank) 代表 在20 psig的標準模型的氮氣或空氣
(**) 代表 進氣口/出口壓力溫度

FMA-A2107 FMA-A2306流量計 美國omega流量計